中微公司取得发明专利授权：“一种静电吸盘及其制作办法、等离子体处理设备”

  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸盘及其制作办法、等离子体处理设备”，专利请求号为CN0.9，授权日为2024年11月8日。

  专利摘要：本请求供给一种静电吸盘，包含底座和和底座上设置的圆盘结构，圆盘结构的上外表用于固定晶圆。其间，底座中构成有榜首通孔，榜首通孔中构成有分流部件，分流部件将榜首通孔分为多个子通孔，分流部件和榜首通孔的侧壁之间构成有填充层；圆盘结构中构成有轴向贯穿圆盘结构的第二通孔，榜首通孔的尺径大于第二通孔的尺径，榜首通孔和第二通孔连通。冷却气体能够终究靠榜首通孔中的多个子通孔流向第二通孔，从而与圆盘结构上固定的晶圆触摸来调理晶圆温度，而填充层能够填充分流部件和底座之间的侧壁空隙，减小了冷却气体的放电空间，降低了冷却气体被击穿的可能性，进步静电吸盘的使用寿命。

  本年以来中微公司新取得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研制方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

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